您好,欢迎来到娱乐天地登录
产品名称:高浓度水中臭氧分析仪
所属品牌:Teledyne API/IN USA
产品简述

Dffoz采用最新的水中臭氧传感器技术,设计用来检测半导体湿法处理和其他工业领域高浓度水中臭氧检测。它可以为去离子水提供持续的臭氧测量,浓度高达150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已经完成”预备清洁”,可以应用于高纯度的半导体过程,在线安装,流量高达150SLPM。


  • 产品概述
  • 产品特性
  • 技术规格
  • 资料下载

Dffoz采用最新的水中臭氧传感器技术,设计用来检测半导体湿法处理和其他工业领域高浓度水中臭氧检测。它可以为去离子水提供持续的臭氧测量,浓度高达150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已经完成”预备清洁”,可以应用于高纯度的半导体过程,在线安装,流量高达150SLPM。

Dffoz传感器结合料IN USA公司创新的双路取样传感技术(获得专利),达到了无与伦比的性能和消除对参比气测量的需要。

Dffoz典型安装包括一个Dffoz传感器和一个控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通过7层Teflon线缆连接。

紫外线吸收技术

双光路测量原理

在线、全流量测量

无可移动部件

半导体级材料

紧凑FRPP外壳


传感器:Dffoz-D

◆    制造商: IN USA INC(美国)

◆    应用 :高浓度水中臭氧连续测量

◆    测量原理 :紫外吸收技术,双光路取样测量技术

◆    紫外线光源:低压汞灯

◆    测量单位 :PPBw,mg/L

◆    量程 : 最高可达到150mg/L

◆    精度:0.5mg/L或读数1%(取大者)

◆    流量:高达150SLPM

◆    压力:55PSI

◆    接口:1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口(其它接口可定制)

◆    外壳:FRPP

◆    焊接材料:PFA,Teflon,蓝宝石,满足半导体制程序要

◆    尺寸:138 X 171 X 82mm

控制器:MiniSCI-N

◆    20位背光LCD

◆    分辨率:0.1mg/L或0.1ppm

◆    循环时间:每隔0.5秒持续测量

◆    模拟输出:4-20mA或0-10VDC

◆    数字 I/0:RS-232C

◆    诊断:内部诊断,报警提示

◆    远程自动校零:标准远程自动校零功能

◆    供电:90-240VAC  50/60Hz

◆    尺寸:143X 71X 241mm

◆    认证:CE